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本标准规定了集成电路制造过程中p-n结隔离耐压的测量方法。
本标准适用于集成电路制造过程中p-n结隔离耐压的测试。 sj 21383-2018
p-n结隔离测试方法
test method for p-n junction isolation
2018-01-18发 布 2018-05-01实 施
。 国 家 国 防 科 技 工 业 局 ‘ 布
sj 21383-2018
月’」舀
本标准由工业和信息化部电子第四研究院提出 。
本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口 。
本标准起草单位:工业和信息化部电子第四研究院 、 北京燕东微电子有限公司 、 中国航天科技集团
公司第九研究院第七七一研究所 、 中国电子科技集团公司第二十四研究所 、 中国电子科技集团公司第五
十八研究所
本标准主要起草人:李锟~秀*十气文肥援舌晨杰二泌 、 王志宽 、 顾祥 、 贾新章 、 游海龙 、
岁晓羽 、 尹航 、 廖听 、
sj 21383-
标准截图